8-812-989-04-49
8-812-740-66-02
info@vactron.org

Ulvac LR, HR, UR — сухие безмасляные вакуумные насосы Рутса

Ulvac LR, HR, UR — сухие безмасляные вакуумные насосы РутсаСерия сухих безмасляных насосов LR, HR и UR производства компании ULVAC разработана для создания форвакуума в тяжелых условиях эксплуатации и для использования в качестве форвакуумных для турбомолекулярных и бустерных механических насосов. Уникальными особенностями насосов данной серии являются конструктивные решения деталей камеры сжатия, обеспечивающие высокую эффективность отвода тепла от тела насоса и равномерное распределения высокой температуры деталей вдоль всего механизма сжатия.

Данный тип насоса является механически безмасляным насосом в промышленном исполнении. Насос является гибридным насосом Рутса. Вдоль пути сжатия газа последовательно располагаются четыре ступени трехлопастных насосов и ступень Рутса, обеспечивающее требуемое понижение давление и высокую компрессию. Схематично данный насос можно представить в виде пяти последовательно соединенных мини-вакуумных насосов, собранных в одном корпусе.

Насос отличает высокая теплоотдача с корпуса насоса, позволяющая эксплуатировать его в нагруженных режимах без перегрева. Насос не требует водяного охлаждения и отличается высокой способностью к откачке паров воды.

Ulvac LR, HR, UR — сухие безмасляные вакуумные насосы Рутса
Насосы серии LR, HR и UR являются оптимальным оборудованием для применения в таких процессах, как производство полупроводников, процессы травления и молекулярной эпитаксии, газовых процессов с образованием порошковых продуктов, например, печи для роста кремниевых кристаллов.

  • Серии LR разработана для работы на откачке шлюзовых и рабочих вакуумных камер при невысоких температурах на процессах осаждения из паровой фазы.
  • Серия HR разработана для применения в процессах травления и молекулярной эпитаксии на повышенных температурах. Специально для данной серии насосов компания ULVAC использует для изготовления деталей насосов особый алюминиевый сплав для чрезвычайно равномерного распределения температуры по всему телу насоса.
  • Серия UR разработана для процессов, требующих дополнительного нагрева насоса, газовых линий и/или откачки из нагретых линий отвода газа.

Всю линейку насосов отличает превосходная коррозионная стойкость, высокая производительность при откачке гелия и инертных газов, и исполнение с двигателем в герметичном кожухе, что позволяет использовать насосы в опасных производствах.

Внутренние поверхности деталей насоса обработаны специальным образом для придания высокой твердости поверхности и коррозионной стойкости. Это делает насосы незаменимыми при эксплуатации в среде коррозионных газов.

На корпусе насоса размещена панель управления с индикацией основных предупреждение и аварийных сообщений. Также предусмотрена возможность подключения промышленных интерфейсов последовательной передачи данных с возможностью удаленного мониторинга и управления насосами).

Технические характеристики насосов Ulvac LR, HR и UR

Насосы небольшой производительности

Модель

LR/HR60

LR/HR90

LR180

LR421

LR421-T

UR421-T

LR/HR300

LR/HR600

Тип насоса

Форвакуумная ступень

LR/HR60

LR/HR90

LR180

LR421

LR421-T

UR421-T

 

 

Ступень Рутса

-

-

-

-

-

-

PRC-003A

PRC-006A

Быстрота откачки

м3/час

62

112

183

440

440

410

359

653

л/мин

1030

1860

3100

7333

7333

6833

5980

10900

Предельное давление

Па

5

5

5

5

5

5

6.7*10-1

6.7*10-1

Торр

3,7*10-2

3,7*10-2

3,7*10-2

3,7*10-2

3,7*10-2

3,7*10-2

5.0*10-3

5.0*10-3

Максимальное давление на входе

атм.

атм.

атм.

атм.

атм.

атм.

атм.

атм.

Рабочий диапазон

Па

1,0- атм.

1,0- атм.

1,0- атм.

1,0- атм.

1,0- атм.

1,0- атм.

1,0- атм.

1,0- атм.

Торр

7,5*10-3- атм.

7,5*10-3- атм.

7,5*10-3- атм.

7,5*10-3- атм.

7,5*10-3- атм.

7,5*10-3- атм.

7,5*10-3- атм.

7,5*10-3- атм.

Порт откачки

VG50(NW40)

VG80(NW50)

VG80(NW50)

VG100

VG100

VG100

VG80(NW80)

VG80(NW80)

Порт выхлопа

NW40

NW40

NW40

VG50

VG50

VG50

NW40

NW40

Защитное покрытие роторов форступени/ступени рудса

есть/-

есть/-

есть/-

есть/-

есть/-

есть/-

есть/есть

есть/есть

Масса

кг

180

245

335

415

415

415

251

371

Электропитание

Три фазы

В (Гц)

220

220

220

220/380

220/380

220/380

220

220

Ток

При максимальном давлении

А

6,9

11,2

18,9

20,8

20,8

23,0

7,0

12,3

При максимальной нагрузке

А

7,0

11,8

20,6

48,5

48,5

52,5

9,6

19,0

Водяное охлаждение

Рабочее давление

МПа

0,1-0,3

0,1-0,3

0,1-0,3

0,2-0,5

0,2-0,5

0,2-0,5

0,1-0,3

0,1-0,3

Разница давлений на входе и выходе

МПа

˃0,1

˃0,1

˃0,1

˃0,2

˃0,2

˃0,2

˃0,1

˃0,1

Поток

л/мин

˃5,0

˃5,0

˃5,0

˃4,0

˃4,0

˃4,0

˃5,0

˃5,0

Продувочный газ N2

Рабочее давление

МПа

0,1-0,5

0,1-0,5

0,1-0,5

0,1-0,5

0,1-0,5

0,1-0,5

0,1-0,5

0,1-0,5

Регулируемое давление

МПа

0,05-0,1

0,05-0,1

0,05-0,1

0,05-0,1

0,05-0,1

0,05-0,1

0,05-0,1

0,05-0,1

Параметры продувки

Уплотнение вала

л/мин

5

5

5

5

5

5

5

5

газ. балласт

л/мин

0-45

0-45

0-45

нет

0-45

0-195

0-45

0-45


Кривая откачки Ulvac LR, HR и UR Кривая откачки Ulvac LR, HR и UR

Насосы высокой производительности

Модель

UR600

LR/HR1200

UR1200

LR1800

UR1800

LR3601

LR3601-T
(TT)

LR3601-R

LR3601-TR (TTR)

UR3601-TT

Тип насоса

Форвакуумная ступень

UR90

LR/HR90

UR90

LR180

UR180

LR421

LR421-T

LR421

LR421-T

LR421-T

Ступень Рутса

PRC-006A

PRC-012A

PRC-012A

PRC-018A

PRC-018A

PRC-036C

PRC-036C

(-T)

PRC-036C-R

PRC-036C-R

(-TR)

PRC-036C

Быстрота откачки

м3/час

653

1012

1012

1701

1701

3200

3200

3200

3200

2700

л/мин

10883

16900

16867

28350

28350

53333

53333

53333

53333

45000

Предельное давление

Па

6.7.10-1

6.7.10-1

6.7.10-1

6.7.10-1

6.7.10-1

6.7.10-1

6.7.10-1

6.7.10-1

6.7.10-1

6.7.10-1

Торр

5.0.10-3

5.0.10-3

5.0.10-3

5.0.10-3

5.0.10-3

5.0.10-3

5.0.10-3

5.0.10-3

5.0.10-3

5.0.10-3

Максимальное давление на входе

атм.

атм.

атм.

атм.

атм.

атм.

атм.

атм.

атм.

атм.

Рабочий диапазон

Па

1,0- атм.

1,0- атм.

1,0- атм.

1,0- атм.

1,0- атм.

1,0- атм.

1,0- атм.

1,0- атм.

1,0- атм.

1,0- атм.

Торр

7,5.10-3- атм.

7,5.10-3- атм.

7,5.10-3- атм.

7,5.10-3- атм.

7,5.10-3- атм.

7,5.10-3- атм.

7,5.10-3- атм.

7,5.10-3- атм.

7,5.10-3- атм.

7,5.10-3- атм.

Порт откачки

VG80(NW40)

VG100(NW100)

VG100(NW100)

VG150(NW100)

VG150(NW100)

VG150

VG150

VG150

VG150

VG150

Порт выхлопа

NW40

NW40

NW40

NW40

NW40

NW40

NW40

NW40

NW40

NW40

Защитное покрытие роторов форступени/ступени рудса

есть/есть

есть/есть

есть/есть

есть/есть

есть/есть

есть/нет

есть/нет(есть)

есть/нет

есть/нет(есть)

есть/есть

Масса

кг

371

403

403

553

553

660

720

660

720

720

Электропитание

Три фазы

В (Гц)

220

220

220

220

220

220/380

220/380

220/380

220/380

220/380

Ток

При максимальном давлении

А

16.4

13,7

18,9

21,4

29,2

31,0

31,0

35,4

35,4

39,8

При максимальной нагрузке

А

17.3

24,2

22,4

39,8

34,9

58,4

58,4

82,0

82,0

68,3

Водяное охлаждение

Рабочее давление

МПа

0,1-0,3

0,1-0,3

0,1-0,3

0,1-0,3

0,1-0,3

0,2-0,5

0,2-0,5

0,2-0,5

0,2-0,5

0,2-0,5

Разница давлений на входе и выходе

МПа

˃0,1

˃0,1

˃0,1

˃0,1

˃0,1

˃0,2

˃0,2

˃0,2

˃0,2

˃0,2

Поток

л/мин

˃5,0

˃5,0

˃5,0

˃5,0

˃5,0

˃4,0

˃4,0

˃4,0

˃4,0

˃4,0

Продувочный газ N2

Рабочее давление

МПа

0,1-0,5

0,1-0,5

0,1-0,5

0,1-0,5

0,1-0,5

0,1-0,5

0,1-0,5

0,1-0,5

0,1-0,5

0,1-0,5

Регулируемое давление

МПа

0,05-0,1

0,05-0,1

0,05-0,1

0,05-0,1

0,05-0,1

0,05-0,1

0,05-0,1

0,05-0,1

0,05-0,1

0,05-0,1

Параметры продувки

Уплотнение вала

л/мин

5

5

5

5

5

5

5

5

5

5

газ. балласт

л/мин

0-45

0-45

0-45

0-45

0-195

НЕТ

0-45

НЕТ

0-45

0-195


Кривая откачки Ulvac LR, HR и UR

Модели насосов HR300/600/1200 предназначены для эксплуатации на давлении ниже 200 Па (2 мбар).

Ulvac LR, HR, UR — сухие безмасляные вакуумные насосы Рутса

Запрос на поставку оборудования / Вопрос по представленному оборудованию
  1. Имя
    Пожалуйста, введите Ваше имя.
  2. Сообщение
    Пожалуйста, введите Ваше сообщение.
  3. E-mail*
    Пожалуста, введите адрес Вашей электронной почты.
  4. Телефон для связи
    Пожалуйста, введите номер Вашего телефона.
  5. Организация*
    Введите название организации
  6. Подтверждение*
    Поставьте, пожалуйста, галочку в поле "Подтверждение".

Дополнительная профессиональная образовательная программа «Основы течеискания и вакуумной техники» 20 – 22 марта 2018

ООО «ВАКТРОН» и Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В. И. Ульянова приглашают сотрудников предприятий принять участие в программе повышения квалификации «Основы течеискания и вакуумной техники» 20 – 22 марта 2018 года. Лекторы курса:

  1. Школа течеисканияПреподаватели университета СПбГЭТУ «ЛЭТИ» — расчетные и исследовательские задачи
  2. Сотрудники компании ВАКТРОН — разработка систем течеискания и вакуумирования
  3. Представители завода «Измеритель» — сервис и запчасти для течеискателей ТИ
  4. Специалисты метрологической организации — поверка и калибровка в течеискании
  5. Представители аттестационного центра — аттестация персонала и лаборатории NDT
  6. Инженеры по сервису ULVAC, NOLEK и PedroGil — модернизация и обслуживание вакуумных насосов и аналитических систем

Базовые темы обучения:

  • Вакуумная техника и контроль герметичности в авиационной и космической отрасли
  • Герметичность объектов военного назначения
  • Выбор вакуумных насосов и течеискателей для металлургии, научных исследований и коммерческих задач
  • Ремонт вакуумных печей и напылительных установок
  • Автоматические линии контроля герметичности».

После прохождения итогового тестирования специалист получает методические материалы, видеозапись занятий и удостоверение о повышении квалификации государственного образца по университетской программе дополнительного профессионального образования. Занятия будут проходить в Санкт-Петербурге в аудиториях университета СПбГЭТУ «ЛЭТИ» с посещением сервисного участка ВАКТРОН. Для направления на обучение необходима предварительная регистрация. Регистрация участников: 8 (812) 740-66-02, info@vactron.org

Скачать приглашение и программу курса (DOC)

8-812-989-04-49
8-812-740-66-02
info@vactron.org