В последние годы, квадрупольные масс-спектрометры (КМС) стали широко применяться в металлургии для контроля процесса вакуумной плавки. КМС являются высокоточными инструментами для анализа химического состава веществ, основанными на разделении молекулярных ионов по их массе и заряду. Они позволяют определять содержание различных элементов в расплавленном металле с высокой точностью и скоростью.
Применение КМС в металлургии имеет ряд преимуществ. Во-первых, они позволяют проводить анализ в реальном времени, что позволяет операторам быстро реагировать на изменения в составе расплавленного металла и корректировать процесс вакуумной плавки. Кроме того, КМС обладают высокой чувствительностью, что позволяет обнаруживать даже небольшие количества примесей, которые могут негативно повлиять на качество готового продукта.
КМС позволяют проводить анализ широкого спектра газов, которые могут образовываться в процессе вакуумной плавки. Это важно, так как газы могут влиять на химический состав расплавленного металла и его физические свойства. Благодаря этому, операторы могут контролировать не только состав расплавленного металла, но и условия его плавки.
КМС также обладают высокой степенью автоматизации и могут быть интегрированы в системы управления процессом вакуумной плавки. Это позволяет операторам получать данные о составе металла в режиме реального времени и автоматически корректировать процесс в случае необходимости.
Для проведения анализа газов в процессе вакуумной плавки, используются специальные пробоотборники. Они позволяют отбирать пробы газа из вакуумной камеры и направлять их на анализ в КМС. Пробоотборники обеспечивают точность и надежность отбора проб газа, а также защищают анализатор от воздействия высоких температур и агрессивных газов.
КМС обладают высокой чувствительностью к различным газам, включая кислород, азот, водород, углерод и другие. Они также способны обнаруживать даже малые количества газовых примесей, например, сероводорода и оксидов азота. Благодаря этому, КМС позволяют операторам контролировать не только основные компоненты газовой среды, но и следить за уровнем примесей, которые могут негативно повлиять на качество металла.
Применение квадрупольных масс-спектрометров в металлургии для контроля процесса вакуумной плавки является эффективным и надежным способом обеспечения высокого качества готового продукта. Они позволяют операторам быстро реагировать на изменения в составе металла и обеспечивают точный анализ его химического состава. Благодаря этому, КМС играют важную роль в повышении эффективности и качества процесса вакуумной плавки в металлургической промышленности.
Квадрупольный масс-спектрометр QGA
Предлагаем вам рассмотреть возможность использования системы анализа остаточных газов на базе квадрупольного масс-спектрометра QGA. Базовая модель квадрупольного масс-анализатора QGA – наиболее современное поколение датчиков для анализа остаточных газов. Анализатор имеет простой интерфейс и удобную программу на компьютер. Этот газовый анализатор хорошо подходит для систем управления вакуумными испарителями и вакуумных печей.
Квадрупольный масс-спектрометр QGA
Сервисное, гарантийное и пост-гарантийное обслуживание выполняется компанией ВАКТРОН как с выездом на предприятие заказчика, так и на территории поставщика в Петербурге.
Функции и особенности квадрупольного масс-анализатора QGA
• Низкая стоимость относительно других систем для анализа остаточных газов
• Простота включения и управления - принцип "Одного нажатия"
• Возможность высокотемпературного отжига
• Функция дегазации электронной бомбардировкой
• Функции защиты ионного источника и вторичного электронного умножителя
• Возможность проведения различных испытаний на герметичность. Проверка герметичности гелием, воздухом и по нарастанию давления
• Измерение общего давления (ионизационный вакуумметр)
Применение квадрупольного масс-анализатора QGA
-
Контроль состава газовой фазы для систем полупроводникового производства, изготовление фотовольтаических панелей (солнечных батарей) и для процессов литографии
-
Анализ остаточных газов в процессах вакуумного напыления и осаждения тонких плёнок
-
Анализ остаточного газа в составе высоковакуумного насосного оборудования
-
Анализ остаточного газа в сублимационной системе сушки
-
Анализ различных газов для проведения научных исследований и разработок
Базовые технические характеристики квадрупольного масс-анализатора QGA
Наименование модели |
QGA 100F |
QGA 200F |
QGA 300F |
QGA 100M |
QGA 200M |
QGA 300M |
Вид масс-анализатора |
Квадрупольный масс-анализатор |
|||||
Тип детектора |
Коллектор Фарадея |
Коллектор Фарадея |
Коллектор Фарадея |
Электрометрический усилитель / Коллектор Фарадея |
Электрометрический усилитель / Коллектор Фарадея |
Электрометрический усилитель / Коллектор Фарадея |
Диапазон анализируемых масс |
1–100 а.е.м. |
1–200 а.е.м. |
1–300 а.е.м. |
1–100 а.е.м. |
1–200 а.е.м. |
1–300 а.е.м. |
Максимальное рабочее давление |
5×10-2 Па |
5×10-2 Па |
5×10-2 Па |
5×10-3 Па |
5×10-3 Па |
5×10-3 Па |
Минимальное детектируемое парциальное давление |
5×10-9 Па |
5×10-9 Па |
5×10-9 Па |
5×10-12 Па |
5×10-12 Па |
5×10-12 Па |
Масса |
3.5 кг |
3.5 кг |
3.5 кг |
4.2 кг |
4.2 кг |
4.2 кг |
Максимальная температура отжига |
250 оС |
250 оС |
250 оС |
150 оС |
150 оС |
150 оС |
Порт подключения |
CF35/40 |
CF35/40 |
CF35/40 |
CF35/40 |
CF35/40 |
CF35/40 |
Интерфейс |
RS-485 ModBus RTU |
RS-485 ModBus RTU |
RS-485 ModBus RTU |
RS-485 ModBus RTU |
RS-485 ModBus RTU |
RS-485 ModBus RTU |
Программное обеспечение |
ПО от производителя VACUURAY 3.0 в комплекте поставки |