8-812-989-04-49
8-812-740-66-02
info@vactron.org

Мишени для распыления электронным потоком Ulvac

Мишени для распыления электронным потокомКомпания Вактрон предлагает Вам рассмотреть возможность покупки мишеней для распыления электронным потоком, изготавливаемых японской компанией Ulvac.

Мишени изготовлены из материалов высокого качества и чистоты, равномерного состава, высокой плотности и содержат крайне малое количество примесей.

Использованные мишени Ulvac компания Вактрон принимает при заказе материалов.

Специалисты Вактрон могут оказать помощь в установке мишеней в распылительные системы, настройке параметров напыления и контроля технического процесса. Возможно изготовление нагревателей для вакуумных установок специальной конструкции.

Таблица характеристик стандартных материалов мишеней Ulvac

Материал

Чистота (%)

Размер (мм)

Проанализированные примеси

Ti

99.8

d 13×7.5

Fe, C

Ti

99.5

0.5×8×30

Fe, C

Ni

99.9

10×14×20

C, Si, Mn, Fe, Co, P, S

Ni

99.9

10×14×7

C, Si, Mn, Fe, Co, P, S

Mo

99.98

10×12.5×7

Ni, Fe, Cu, C

Таблица характеристик мишеней для распыления в вакууме Ulvac (легкие материалы)

Атомный номер

Чистота (%)

Абсолютный удельный вес (г/см3)

 Точка испарения (°C)

Форма

Метод нагрева

 

Целесообразность метода электронного пучка

 

Примечания

Температура плавления(°C)

Давление

10-2 Па

Давление

10-4 Па

 

Брусок

 

Гранулы

 

Стружка

 

Проволока

 

Пластинки

 

Катоды

 

Тигли

5

B

 

99.0

2.38

 

*1797

 

*1548

 

 

 

 

 

 

 

 

Неподходящий

 

2225

6

C

99.9~

99.999

2.25

 

*2137

 

*1867

 

 есть

 

 есть

 

 

 

есть

 

 

 

Неподходящий

 

3827

12

Mg

99.9~

99.99

1.74

 

*327

 

*274

 

 есть

 

 

есть

 

 

 

Mo,Ta,W

Mo,C

Alumina

 

Хороший

 

650

13

Al

99.0~

99.999

2.70

 

1010

 

817

 

есть

 

 

 

есть

 

есть

W

BN comp

      Aluminia

  Composite

 

Хороший

Хор. смачиваемость, сплавляется с RM

660

14

Si

99.999~

11N

2.34

 

1337

 

1147

 

есть 

 

 

 

 

 

Zirconia C

 

Отличный

Реагирует с оксидами

1410

22

Ti

99.8~

99.99

4.50

 

1453

 

1235

 

есть 

 

 есть

 

 

 есть

 

есть 

 

Ta

 

C

 

Отличный

Реагирует с W, не реагирует с Ta

1670

23

V

 

99.7

6.10

 

1547

 

1332

 

 

 

 есть

 

 

 

Mo

 

Mo

 

Отличный

Сплавляется с W и Ta, не сплавляется с Mo

1902

24

Cr

99.8~

99.998

7.20

 

*1157

 

*977

 

 есть

 

 есть

 

 есть

 

 

есть 

W

(Кат. Cr)

 

C

 

Хороший

 

1875

25

Mn

99.9~

99.99

7.44

 

647

 

572

 

 

 

 есть

 

 

 

Mo,Ta,W

Alumina Mo,C

 

Хороший

 

Смачивается RM

1244

26

Fe

99.9~

99.99

7.86

 

1180

 

998

 

 есть

 

 

 

есть 

 

есть 

 

W

Alumina Magnesia

 

Отличный

 

Сплавляется с RW

1536

27

Co

99.0~

99.99

8.90

 

1200

 

990

 

есть 

 

 есть

 

 

есть 

 

есть 

 

W

Alumina Magnesia

 

Отличный

Сплавляется с Mo, Ta, W

1492

28

Ni

99.0~

99.96

8.90

 

1262

 

987

 

есть 

 

 есть

 

 

есть 

 

есть 

 

W

Alumina Magnesia

 

Отличный

Сплавляется с Mo, Ta, W

1453

Таблица характеристик мишеней для распыления в вакууме Ulvac (тяжелые материалы)

29

Cu

99.9~

99.99

8.96

 

1017

 

857

 

есть 

 

есть 

 

есть 

 

есть 

 

есть 

 

Mo,Ta,W

Mo,BN,C

Alumina

 

Отличный

Немного смачивается Mo, Ta, W

1083.4

30

Zn

 

99.999

7.14

 

250

 

177

 

 есть

 

есть 

 

 

 

 

Mo,Ta,W

Mo Alumina, C

 

Отличный

Смачивается RM, не сплавляется

419.5

31

Ga

 

99.99

5.91

 

807

 

747

 

есть 

 

есть 

 

 

 

 

 

Alumina

 

Хороший

Реагирует с огнеупорными частями

29.8

32

Ge

 

99.999

5.32

 

1167

 

957

 

есть 

 

 

 

 

 есть

 

Mo,Ta,W,C

 

Alumina, C

 

Отличный

Смачивается RM, плохо смачивается с C

937.3

34

Se

99.9~

99.99

4.79

 

170.1

 

127

 

 есть

 

есть 

 

 

 

 

Mo,W

Alumina C

 

Хороший

Токсичен, хорошо смачивается

217

39

Y

 

99.9

4.48

 

1157

 

973

 

 есть

 

есть 

 

есть 

 

 

есть 

 

Ta,W

Alumina Ta

 

Хороший

 

1502

40

Zr

 

99.2

6.49

 

1987

 

1702

 

есть 

 

Губки

 

 

 

 

есть

 

W

 

 

Отличный

Немного сплавляется с W

1852

41

Nb

 

99.9

8.4

 

2287

 

1977

 

есть 

 

 

 

есть 

 

есть 

 

W

 

 

Отличный

 

Сплавляется с W

2467

42

Mo

99.9~

99.98

10.2

 

2117

 

1822

 

есть 

 

 

 

 есть

 

есть 

 

 

 

Отличный

Прямая передача мощности проволоке

2617

45

Rh

 

99.9

12.44

 

1707

 

1472

 

есть 

 

 

 

есть 

 

 

W

C

Zirconia

 

Хороший

 

1960

46

Pd

 

99.95

12.02

 

1192

 

997

 

 есть

 

есть 

 

 

 есть

 

есть 

 

W

 

Alumina

 

Хороший

 

Сплавляется с RM

1552

47

Ag

99.99~

99.999

10.492

 

684

 

617

 

есть 

 

есть 

 

 

есть 

 

 

Mo,Ta,W

Mo,C

Alumina

 

Отличный

 

Смачивается W

961

48

Cd

99.9~

99.999

8.65

 

180

 

120

 

есть 

 

 есть

 

 

 

 

Mo,Ta,W

Alumina Ta

 

Неподходящий

 

Токсичен

321.03

49

In

99.9~

99.999

7.31

 

742

 

597

 

есть 

 

есть 

 

 

есть 

 

есть 

 

Mo,W

Ta,Mo,C

Alumina

 

Отличный

 

156.6

50

Sn

99.9~

99.9999

7.29

 

997

 

807

 

есть 

 

есть 

 

 

есть 

 

 

Mo,Ta

Ta,C

Alumina

 

Отличный

 

Реагирует с Mo

231.91

51

Sb

 

99.9999

6.62

 

425

 

345

 

есть 

 

 

 

 

 

Mo,Ta

BN,C

Alumina

Неподходящий

 

Токсичен

631

52

Te

99.99~

99.9999

6.25

 

277

 

207

 

 есть

 

есть 

 

 

 

 

Mo,Ta,W

Mo,C,Ta

Alumina

Неподходящий

 

Токсичен

449.8

Редкоземельные

 

99.9

 

 

 

есть

 

 

 

 

есть 

 

Ta

 

Alumina

Неподходящий

 

72

Hf

 

98.0

13.3

 

3090

 

2250

 

Губки 

 

 

 

 

 

 

 

Хороший

 

2227

73

Ta

 

99.9

16.6

 

2590

 

2240

 

 есть

 

 

 

есть 

 

есть 

 

 

 

Отличный

Прямая передача мощности проволоке

2998

74

W

 

99.95

19.3

 

2757

 

2407

 

 есть

 

 

 

 есть

 

 есть

 

 

 

Хороший

 

Легко окисляется

3380

75

Re

 

21.2

 

2571

 

2207

 

есть 

 

 

 

 

 

 

 

 

3160

77

Ir

 

22.5

 

2380

 

2080

 

есть 

 

 

 

 

 

 

 

 

2443

78

Pt

99.95~

99.995

21.45

 

1747

 

1492

 

есть 

 

есть 

 

 

есть 

 

 есть

 

W

C

Zirconia

 

Отличный

Сплавляется с Ta, Nb, Mo

1770

79

Au

 

99.99

19.3

 

1132

 

947

 

есть 

 

 есть

 

 

есть 

 

есть 

 

Mo,W

Mo,BN,C,W

Alumina

 

Отличный

Смачивается W & Mo, сплавляется с Ta

1063

82

Pb

 

99.9999

11.4

 

497

 

427

 

есть 

 

есть 

 

 

 

 

Mo,Ta,W

W,Fe

Alumina

 

Отличный

 

Не смачивается RM

327.3

83

Bi

99.9~

99.9999

9.8

231.7

 

520

 

410

 

 есть

 

есть 

 

 

 

 

Mo,Ta,W,Ni

Mo,C

Ta,Alumina

 

Хороший

 

Сокращение RM - это Mo, Ta, W и т.п.

Материалы для осаждения пленок и распыляемые мишени Ulvac помогут Вам подобрать наши специалисты.

Запрос на поставку оборудования / Вопрос по представленному оборудованию
  1. Имя
    Пожалуйста, введите Ваше имя.
  2. Сообщение
    Пожалуйста, введите Ваше сообщение.
  3. E-mail*
    Пожалуста, введите адрес Вашей электронной почты.
  4. Телефон для связи
    Пожалуйста, введите номер Вашего телефона.
  5. Организация*
    Введите название организации
  6. Подтверждение*
    Поставьте, пожалуйста, галочку в поле "Подтверждение".

 

Дополнительная профессиональная образовательная программа «Основы течеискания и вакуумной техники» 5 – 7 июня 2018

ООО «ВАКТРОН» и Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В.И. Ульянова приглашают сотрудников предприятий принять участие в программе повышения квалификации «Основы течеискания и вакуумной техники» 5 – 7 июня 2018 года.

Основы течеискания и вакуумной техникиЛекторы курса:

  1. Преподаватели университета СПбГЭТУ «ЛЭТИ» — расчетные и исследовательские задачи
  2. Сотрудники компании ВАКТРОН — разработка систем течеискания и вакуумирования
  3. Представители завода «Измеритель» — сервис и запчасти для течеискателей ТИ
  4. Специалисты метрологической организации — поверка и калибровка в течеискании
  5. Представители аттестационного центра — аттестация персонала и лаборатории NDT
  6. Инженеры по сервису ULVAC, NOLEK и PEDRO GIL — модернизация и обслуживание вакуумных насосов и аналитических систем

Базовые темы обучения:

  • Вакуумная техника и контроль герметичности в авиационной и космической отрасли
  • Герметичность объектов военного назначения
  • Выбор вакуумных насосов и течеискателей для металлургии, научных исследований и коммерческих задач
  • Ремонт вакуумных печей и напылительных установок
  • Автоматические линии контроля герметичности».

После прохождения итогового тестирования специалист получает методические материалы, видеозапись занятий и удостоверение о повышении квалификации государственного образца по университетской программе дополнительного профессионального образования. Занятия будут проходить в Санкт-Петербурге в аудиториях университета СПбГЭТУ «ЛЭТИ» с посещением сервисного участка ВАКТРОН. Для направления на обучение необходима предварительная регистрация. Регистрация участников: 8 (812) 740-66-02, info@vactron.org

Скачать приглашение и программу курса (DOC)

8-812-989-04-49
8-812-740-66-02
info@vactron.org