8-812-989-04-49
8-812-740-66-02
info@vactron.org

Оборудование для измерения давления Ulvac

  • Датчик давления UlvacТеория измерения давления в вакууме
  • Мульти ионизационный вакуумметр Ulvac G-TRAN SH2-1/SH2-2
  • Емкостной мановакуумметр Ulvac G-Tran CCMT-D
  • Вакуумметр Пирани Ulvac G-Tran SW1-1/SW1-2
  • Вакуумметр Пирани Ulvac G-Tran SW1-1-ISG1 Combo
  • Вакуумметр Пирани Ulvac G-Tran SP1
  • Ионизационный вакуумметр с холодным катодом Ulvac G-Tran SС1
  • Контроллеры вакуумметров Ulvac G-Tran IM1R1-IM2R1
  • Контроллеры вакуумметров Ulvac G-Tran ISG1

Измерение давления необходимо для управления вакуумными технологическими процессами и обеспечения безопасности производства.

Давление на вакуумных технологических процессах ниже атмосферного, но при этом всегда остается положительным.

Согласно ГОСТ 5197–85 (или DIN28400 часть 1), вакуумом называют состояние газа или пара при давлении ниже атмосферного. Количественной характеристикой вакуума служит абсолютное давление. 

В различных отраслях промышленности и техники используются различные единицы измерения давления: Па – Паскаль; мбара – миллибар; torr = мм рт. ст. – торр или миллиметр ртутного столба и т.д., в том числе выражающиеся в процентах % и в отрицательных значениях.

Продолжить

Емкостной мановакуумметр Ulvac G-Tran CCMT-D

Вакуумметр Ulvac G-Tran CCMT-DСерия мановакуумметров Ulvac CCMT-D являются датчиками емкостного типа, работающими на основе преобразования величины электрической емкости, изменяющейся при деформации алюмо-керамической мембраны на величину абсолютного давления в условиях, отличных от атмосферного давления.

Датчики линейки G-TRAN ССMT-находят свое применение для таких технологических процессов как:

  • Вакуумная металлургия и процессы термообработки под вакуумом
  • Оборудование для нанесения пленок и покрытий
  • Процессы по производству фотогальванических элементов и ЖК-панелей
  • Лабораторное и промышленное оборудование с повышенными требованиями к точности измерения

 

Продолжить

Вакуумметр Пирани Ulvac G-Tran SW1-1/SW1-2

Вакуумметр Пирани Ulvac G-Tran SW1-1/SW1-2Серия вакуумметров Ulvac SW1-1/SW1-2 являются датчиками Пирани с расширенным диапазоном измерения давлении от атмосферного до 5х10-2 Па. Датчики Пирани G-TRAN SW1 могут быть интегрированы в систему управления технологическими процессами для контроля основных параметров без использования специальных контроллеров или индикаторов. Тем самым, датчики Пирани G-Tran SW1 могут помогут снизить издержки при сборке системы измерения вакуума.

Датчики линейки G-TRAN SW1-1/SW1-2 находят свое применение для таких технологических процессов как:

  • Производство фотоэлектрических элементов, полупроводников, элементов опто- и микроэлектроники
  • Контроль процессов откачки шлюзовых и высоковакуумных камер при единичном или последовательном производстве полупроводниковых пластин
  • Измерение давления в диапазоне низкого вакуума в общепромышленных процессах, таких как вакуумные печи, установок нанесения покрытий и т.п.

Продолжить

Вакуумметр Пирани Ulvac G-Tran SW1-1-ISG1 Combo

Вакуумметр Пирани Ulvac G-Tran SW1-1-ISG1 ComboКомплект из датчика Пирани Ulvac SW1-1 и одноканального контроллера с цифровой индикацией показаний ISG1 представляет собой экономичное решение для реализации системы измерения.

Датчики Пирани SW1-1 с платиновым катодом обеспечивает измерение вакуума в диапазоне давлений от атмосферного до 5х10-2 Па.

Датчики линейки G-TRAN SW1-1 находят свое применение для таких технологических процессов как:

  • Производство фотоэлектрических элементов, полупроводников, элементов опто- и микроэлектроники
  • Контроль процессов откачки шлюзовых и высоковакуумных камер при единичном или серийном производстве полупроводниковых пластин
  • Измерение давления в диапазоне низкого вакуума в общепромышленных процессах, таких как вакуумные печи, установок нанесения покрытий и т.п.

Продолжить

Вакуумметр Пирани Ulvac G-Tran SP1

Ulvac G-Tran SP1В датчике SP1-1 преобразователи Пирани серии WP объединены в одном корпусе с платой управления. Функциональные возможности датчика SP-1 позволяют интегрировать измеритель в систему управления технологическими процессами для контроля основных параметров без использования специальных контроллеров или индикаторов. Тем самым датчики Пирани G-Tran SP1 могут помогут снизить издержки при реализации системы измерения вакуума.

Датчик Пирани SP1 с преобразователями серии WP обеспечивает измерение вакуума в диапазоне давлений от 3000 до 0,4 Па (от 22 до 2х10-3 мм рт. ст. и 3 до 4х10-3 мбара, соответственно).

Датчики линейки G-TRAN SPнаходят свое применение для таких технологических процессов как:

  • Производство фотоэлектрических элементов, полупроводников, элементов опто- и микроэлектроники
  • Контроль процессов откачки шлюзовых и высоковакуумных камер при единичном или последовательном производстве полупроводниковых пластин
  • Измерение давления в диапазоне низкого вакуума в общепромышленных процессах, таких как вакуумные печи, установок нанесения покрытий и т.п.

Продолжить

Мульти ионизационный вакуумметр Ulvac G-TRAN SH2-1/SH2-2

Ulvac G-TRAN SH2-1 SH2-2Новейшая разработка компании ULVAC – ионизационный датчик с двумя катодами Ulvac G-TRAN SH2-1/SH2-2 c управлением с обратной связью основными параметрами измерения. Компания ULVAC разработала, запатентовала данную линейку датчиков под названием – мульти-ионизационный датчик (Multi Ionization Gauge – patent pending).

Управление током эмиссии, процессом дегазации и выбором измерительной головки в соответствии с диапазоном измерения производятся автоматически.

Особенностью данной линейки датчиков давления является возможность измерения вакуума в широком диапазоне. При этом индикация цифрового сигнала может производиться по одному каналу, что позволяет снизить издержки по обслуживанию и эксплуатации измерительного оборудования.

Продолжить

Ионизационный вакуумметр с холодным катодом Ulvac G-Tran SС1

Ионизационный вакуумметр с холодным катодом Ulvac G-Tran SС1Датчик абсолютного давления магнетронного типа с холодным катодом Ulvac G-Tran SC1 – надежное и точное измерение вакуума. Благодаря отсутствию катода накаливания, датчики Ulvac G-Tran SC1 просты в эксплуатации и обладают длительным сроком службы.

Датчики линейки Ulvac G-TRAN SPнаходят свое применение для таких технологических процессов, как:

  • Производство фотоэлектрических элементов, полупроводников, элементов опто- и микроэлектроники
  • Контроль процессов откачки шлюзовых и высоковакуумных камер при единичном или последовательном производстве полупроводниковых пластин
  • Измерение давления в диапазоне низкого вакуума в общепромышленных процессах, таких как вакуумные печи, установок нанесения покрытий и т.п.

Продолжить

Вакуумметр Ulvac Ax-Tran для сверхвысокого вакуума

Вакуумметр Ulvac Ax-Tran для сверхвысокого вакуумаДатчик абсолютного давления с накаливаемым катодом позволяет выполнять измерения в диапазоне экстремально низких давлений – до 5×10-11Па (3.75×10-13мм рт. ст., 5×10-13мбар).

Благодаря специальной конструкции фильтра Бесселя и взаиморасположению элементов электронной оптики, в датчике ULVAC AxTran удалось снизить уровень влияния на ионный ток токов утечки от возникающего мягкого рентгеновского излучения и эффекта электронно-стимулированной десорбции (ESD эффект), что позволило гарантировать высокую разрешающую способность на сверхвысоком вакууме.

 

Продолжить

Контроллеры вакуумметров Ulvac G-Tran IM1R1-IM2R1

Контроллеры вакуумметров Ulvac G-Tran IM1R1-IM2R1 Контроллеры Ulvac IM1R1-IM2R1 поддерживают обмен данными и управляющими сигналами по четырем каналам с возможностью подключения как различных измерителей давления одновременно, так и с возможностью обмена данными между несколькими контролерами, соединенными последовательно.

Стандартный набор функций контроллеров Ulvac IM1R1-IM2R1 предусматривает пре-программирование 8-ми выходных дискретных сигналов и обмена данными между подключенными устройствами.

Таким образом, благодаря контролю необходимых блокировок и уровней сигнала, можно реализовать систему измерения вакуума в широком диапазоне давлений, с последовательным и безопасным включением датчиков, например, Пирани, а затем ионизационных датчиков.

Контроллеры серии Ulvac G-TRAN IM1R1-IM2R1 находят свое применение для таких технологических процессов, как:

  • Производство фотоэлектрических элементов, полупроводников, элементов опто- и микроэлектроники
  • Измерение давления в широком диапазоне от низкого до высокого с возможностью контроля и блокировок большого количества уровней сигнала, необходимых для управления технологическим процессом с многоступенчатой системой откачки и/или нескольких вакуумных камер и т.п.

 

Продолжить

Контроллеры вакуумметров Ulvac G-Tran ISG1

Контроллер Ulvac G-TRAN ISG1Контроллер ISG1 совместим со всеми датчиками давления Ulvac серии G-TRAN, включая емкостные преобразователи давления серии CCM.

Контроллеры серии ISG1 представляют собой простое и надежное решения для широкого круга пользователей.

Контроллеры Ulvac G-TRAN ISG1 находят свое применение для таких технологических процессов, как:

  • Производство фотоэлектрических элементов, полупроводников, элементов опто- и микроэлектроники
  • Измерение давления в широком диапазоне от низкого до высокого с возможностью контроля и блокировок большого количества уровней сигнала, необходимых для управления технологическим процессом с многоступенчатой системой откачки и/или нескольких вакуумных камер и т.п.

Продолжить

Дополнительная профессиональная образовательная программа «Основы течеискания и вакуумной техники» 5 – 7 июня 2018

ООО «ВАКТРОН» и Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В.И. Ульянова приглашают сотрудников предприятий принять участие в программе повышения квалификации «Основы течеискания и вакуумной техники» 5 – 7 июня 2018 года.

Основы течеискания и вакуумной техникиЛекторы курса:

  1. Преподаватели университета СПбГЭТУ «ЛЭТИ» — расчетные и исследовательские задачи
  2. Сотрудники компании ВАКТРОН — разработка систем течеискания и вакуумирования
  3. Представители завода «Измеритель» — сервис и запчасти для течеискателей ТИ
  4. Специалисты метрологической организации — поверка и калибровка в течеискании
  5. Представители аттестационного центра — аттестация персонала и лаборатории NDT
  6. Инженеры по сервису ULVAC, NOLEK и PEDRO GIL — модернизация и обслуживание вакуумных насосов и аналитических систем

Базовые темы обучения:

  • Вакуумная техника и контроль герметичности в авиационной и космической отрасли
  • Герметичность объектов военного назначения
  • Выбор вакуумных насосов и течеискателей для металлургии, научных исследований и коммерческих задач
  • Ремонт вакуумных печей и напылительных установок
  • Автоматические линии контроля герметичности».

После прохождения итогового тестирования специалист получает методические материалы, видеозапись занятий и удостоверение о повышении квалификации государственного образца по университетской программе дополнительного профессионального образования. Занятия будут проходить в Санкт-Петербурге в аудиториях университета СПбГЭТУ «ЛЭТИ» с посещением сервисного участка ВАКТРОН. Для направления на обучение необходима предварительная регистрация. Регистрация участников: 8 (812) 740-66-02, info@vactron.org

Скачать приглашение и программу курса (DOC)

8-812-989-04-49
8-812-740-66-02
info@vactron.org